Hochreines Wolframpentachlorid wurde erfolgreich in Produktion genommen

Wolframpentachlorid ist ein chemisches Gasphasenabscheidungsmaterial, das in Halbleiterchips für Wolframverbindungen an PN-Übergängen verwendet wird. Die wesentlichen Materialanforderungen bestehen darin, dass es frei von Verunreinigungen und hochreiner Vergasung ist. Von den 1980er bis in die 1990er Jahre war WF6 das bevorzugte Halbleitermaterial. Da WF6 bei Raumtemperatur gasförmig ist, lässt sich die Gasphasenabscheidungsreaktion (WF6+H2→W+HF) leicht realisieren. Um den Anforderungen an hohe Integration, Volumenreduzierung, mehrere Funktionen und mehrere Transistoren bei der Chipentwicklung gerecht zu werden, muss die Stapelmethode der PN-Übergänge im Chip von der quadratischen dreidimensionalen Stapelform in eine 3D-umgebende Stapelung geändert werden, wodurch die Fläche vergrößert und verkleinert wird. Auf diese Weise ist die Anzahl der PN-Übergänge pro Siliziumwaferfläche höher, die Dichte größer und der Siliziumwafer dünner. Auf diese Weise muss das Korrosionsproblem von F auf Si berücksichtigt werden (das Nebenprodukt nach der WF6-Dampfabscheidung ist HF und das Nebenprodukt von WCl5 ist HCl, wobei ersteres für Si korrosiver ist) und der durch WF6 erzeugte PN-Verbindungswiderstand ist groß und die Stabilität und Zuverlässigkeit sind schwach. Wenn die Dichte bis zu einem gewissen Grad zunimmt und die Breite der Spule 10 nm beträgt, muss Wolframpentachlorid als Rohmaterial für die Wolframverbindung verwendet werden.

Die Stärke der Halbleiterindustrie zeigt ein Marktmuster, das sich aus einer „Nationalmannschaft“ zusammensetzt. Apples Chips werden derzeit vollständig von der Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. (TSMC) hergestellt; Samsungs Chips werden hauptsächlich von Samsung Electronics, einem eigenen Chiphersteller in Südkorea, hergestellt. Computerchips werden im Allgemeinen von der US-amerikanischen Intel Corporation (Inter) hergestellt, und die meisten Chips japanischer Unternehmen stammen von Toshiba (Toshiba). Die Reinheit des von Huajing hergestellten Wolframpentachlorids beträgt bis zu 6N, und die Produktqualität wird von Endkunden in Korea und Japan anerkannt.
Die Analyseergebnisse des Produkts lauten wie folgt: